惰性气体分子是由单原子构成的。除氦外,其他元素的原子,最外电子层都有八个电子(氦是二个),具有稳定的结构。过去,人们认为惰性气体根本不可能跟其他物质发生化学反应生成化合物。事实上,并非所有惰性气体都是这样。1962年,英国化学家巴特利特(Bartlett)通过实验,得到了惰性气体的第一个化合物六氟铂酸氙(XeptF6)。以后,人们又制得了氙跟氟或氧的化合物,如二氟化氙(XeF2)。此外,还得到了氪跟氟的化合物四氟化氪(KrF4)等等。但到现在为止,人们还没有制得氖和氦的化合物。鉴于惰性气体的“惰性”只是相对而言的,又因为它们在自然界储量极少,所以,1991年,全国自然科学名词审定委员会公布的《化学名词》中正式规定,把惰性气体改称为稀有气体。
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